每日关注!近日，中国电子“离子注入机”技术突破，为芯片行业吹起反攻号角

中国电子科技集团旗下中电科电子装备集团有限公司日前宣布，该公司已经成功实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，这对于我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全具有重要意义。

(资料图片)

离子注入机是芯片制造过程中不可或缺的关键设备，而28纳米则是目前芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程之一。中电科电子装备集团有限公司通过不断突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，成功形成了中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，从而实现了28纳米工艺制程全覆盖。

作为国内最早从事离子注入设备研制及产业化的企业之一，中电科电子装备集团有限公司已经具备从产品设计到量产应用的完整研制体系。此外，中电科电子装备集团有限公司生产的产品涵盖逻辑、存储、功率器件、传感器等各类工艺器件，并已广泛应用于国内各大集成电路先进产线，累计流片量超过2000万片，可谓为我国产业链供应链的韧性和安全水平提供了强有力的保障。

中电科电子装备集团有限公司深耕离子注入装备领域多年，此次实现28纳米工艺制程全覆盖，不仅是该公司的一次重大成果，更是我国集成电路制造行业的一大里程碑。中电科电子装备集团有限公司将继续努力推动离子注入装备技术的进一步创新发展，为我国芯片制造行业的发展贡献更多力量。也帮助了芯片行业吹起反攻号角。

中电科电子装备集团有限公司成功实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，这对于我国芯片制造业的发展具有重要意义。那么，在和国外先进制造技术的竞争中，该技术突破的实际意义又是什么呢？

1、国外制造技术持续领先，我国产业链供应链安全受制

在当今的信息化时代中，计算机、通信设备、信息安全等等技术都离不开现代芯片技术的支撑。而现代芯片制造技术则是近十年来制造业技术更新换代中最快的领域。在这个领域，国外占据着半壁江山，技术水平一直处于领先地位。无论是在工艺、芯片性能或者制造能力方面，国外企业都有着不可替代的优势，这也让我国制造业的安全受到了制约。

2、我国芯片制造应具有产业安全保障能力

如今，我国政府为了督促和支持本国芯片制造业的长足发展， 加强了对本国芯片企业在国际市场上的保护措施。而这些保护性政策的提出是源于我国芯片制造业距离国际制造业先进水平，尤其是西方国家，还存在较大差距。因此，只有在技术上实现与西方国家逐渐趋于平衡，才能具备自我保护的能力。

3、离子注入技术的开发对我国芯片制造的发展意义

在这种情况下，离子注入技术的成功突破，无疑是我国芯片制造业的一个好消息。该项技术一直被视为芯片制造工艺中最核心的步骤之一，经过十几年的发展，该技术已经成为了国内芯片制造的主流技术之一。通过中电科电子装备集团有限公司的努力，该项技术现已实现28纳米工艺制程全覆盖，能够为中国芯片制造业进一步的发展提供重要支持。

离子注入技术是目前芯片制造中最为主要的工艺之一， applying 离子注入技术能够最大程度地实现芯片的高速、高可靠、低功率等高性能，使得芯片具有更好的可扩展性和更长的使用寿命。

结语

离子注入技术的开发让我国芯片制造逐渐告别被动的状况，向主动的制造方式转变，甚至开始向中高端的制造链条生态环境逐步靠近。此次离子注入技术28纳米工艺制程全覆盖的成功实现，除了有助于提升我国的芯片制造水平外，还将对国家的信息产业、工业制造等方面产生深远的影响。

虽然目前我国芯片行业跟国外巨头的差距还十分明显，但是这仅仅是一个开始，电科装备此次技术突破绝非偶然。随着我国芯片制造技术的追赶，相信在不久的将来，我国制造业在芯片制造方面将会逐渐占据主导地位。

关键词：