中国光刻机技术是窃取荷兰阿斯麦尔，技术不是自己的？

荷兰的ASML公司几乎垄断了高端光刻机市场，其技术处于领先地位。

中国的科技发展虽然起步较晚，但中国的快速崛起也让一些国家认为，中国的一些技术是通过窃取手段获得的，这种无端猜测完全没有证据支持，甚至可以说是无中生有，当然这也可能是他们的妒忌心理作祟。

(资料图)

ASML公司之所以这么的嚣张，是因为这家公司掌握了顶级的光刻机技术，全球只有他们能够制造出EUV光刻机。在这个领域里他们拥有绝对的优势，毕竟实力决定地位。

ASML公司对我国一直是冷漠的态度，可能是自信于自己的技术，也可能是为了讨好美国，争取更多的利益。这家公司一直是对美国百依百顺，这都是因为是美国在资助他们开发光刻机技术。

我们在造出EUV光刻机方面一直都要努力进步

这几年，美国不断打压我国的科技发展，而我国不畏艰难，取得了许多的成就。我国现在已经能够制造出光刻机的三大核心零部件，那就是激光源、光学镜片和高精密双工台。

这种高精密的双工台技术难度极高。之前尼康的负责人就对ASML说过，工作台是他们最难攻克的难关。高端的芯片这三大核心零部件缺一不可。

目前我国的华卓精科公司已经能够制造双工作台，这是全球少有的公司能够做到的技术壮举。

华卓精科公司已经能够制造双工作台，这是光刻机的核心部件之一，可以提高光刻机的效率和精度。华卓精科公司是国内首家自主研发并实现商业化生产的光刻机双工作台供应商，也是世界上除了ASML之外掌握双工作台核心技术的少数几家公司之一。华卓精科公司的双工作台有DWS系列和DWSi系列，分别用于干式光刻机和浸没式光刻机。华卓精科公司还对双工作台技术进行了纵向延伸，突破了当前业内先进的六自由度磁浮微动台技术，实现了对微动台高阶柔性模态的抑制，使其运动精度优于2nm。华卓精科公司的双工作台产品已经成功通过了国家科技重大专项“02专项”的项目验收，并向上海微电子等下游客户提供了相关模块和技术服务。

我国在其他科学技术也有很大的突破，哈工大已经将激光技术超精密高速激光干涉仪等技术成功研制，已经投入使用了，让我国在世界科技领域里有足够的实力和信心。

激光技术超精密高速激光干涉仪是一种可以用于7nm及以下的光刻技术，它可以对光刻机的双工作台、物镜系统、晶圆等进行超精准的测量和定位，从而提高光刻机的精度和效率。这项技术是光刻机的关键技术之一，也是我国自主研发的重要成果。它已经获得了世界光子大会的金燧奖金奖，证明了它的国际先进水平。

ASML见识到我国的技术一直在进步，他们立刻就警觉起来了，知道这个世界不是他们一家独大，他们不是唯一拥有高端技术的公司，总有一天我国的科研人员也可以达到甚至超越他们。

他们就是意识到这一点才开始反省自己之前的行为太过自大，也没有想到我国的能力竟然这么强劲。如果他们不及时改变态度，那么受损的将是他们。

中国光刻机技术是“偷”来的？

中国28nm光刻机的诞生，让美国意识到了对中国的技术封锁已经失效，反而成为了中国发展的动力。而荷兰阿斯麦尔公司却对中国28nm光刻机进行了恶意诋毁，在他们看来，中国的科技实力根本无法支持这样的研究。

他们散布的谣言是，中国光刻机技术是窃取荷兰阿斯麦尔的。这一谣言也引起了世界对中国的非议，其实大部分美西方国家都认为，中国的发展是落后的，无法适应新时代的变化，但这只是他们的一厢情愿罢了。

阿斯麦尔的言论是毫无根据的，首先光刻机制造技术是阿斯麦尔公司的核心机密，保密程度极高，除了他们自己公司的高管，其他人或是外国学者，根本无法接触到该技术，那么中国怎么可能窃取呢？就算是到阿斯麦尔去学习交流，也只能看到一些表面的东西。

而且阿斯麦尔也不可能将高端技术透露给中国，特别是在美国的控制下，连高端光刻机的出口权都没有，说中国偷窃简直是荒谬的。他们自己的言论都站不住脚，最后也不得不向中国道歉了，事情虽然平息了，但是也应该查清楚到底是怎么一回事。

抹黑中国光刻机技术已经不是第一次了

早在22年，它就曾经无端指责中国东方晶圆公司侵犯了它的知识产权，声称中国的这家公司在一些方面和它有相似之处，但是它并没有拿出任何证据来支持自己的说法。

事实上，中国东方晶圆和阿斯麦尔并不是同一领域的竞争对手，它们只是都涉及到光刻机这个行业。根据资料显示，中国东方晶圆主要是提供光刻机的相关产品，而阿斯麦尔则是专注于制造完整的光刻机。当时的中国东方晶圆在国际上还没有什么名气，和阿斯麦尔这样的大公司相比，完全没有可比性。

阿斯麦尔曾经对中国东方晶圆公司发出过不实的指控，说它们侵犯了它的知识产权，但是后来调查证明，这只是阿斯麦尔的误会。原来，阿斯麦尔是因为看到东方晶圆和XTAL有合作关系，就以为东方晶圆也涉及到了XTAL之前对它的侵权行为，所以就一口咬定东方晶圆有问题。这种不分青红皂白的做法，实在是太荒唐了。

这次事件虽然给中国东方晶圆带来了一些困扰，但也让它获得了国际上的关注和认可。这对它后续的发展有利无弊。当然，如果阿斯麦尔再次无理取闹，中国科技也不会坐以待毙，而是会采取必要的措施来维护自己的权益。

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